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卓立-氣浮導(dǎo)軌滑臺QF系列產(chǎn)品概述
說明：
QF系列是采用的靜壓氣浮導(dǎo)軌作為保持機構(gòu)，直線電機驅(qū)動的直線滑臺。該系列滑臺具有 高穩(wěn)定度、高分辨率，精密位移，大負載的功能。采用氣浮導(dǎo)軌為保持機構(gòu)，工作過程沒有摩擦，無灰塵產(chǎn)生，沒有爬行現(xiàn)象。直線電機作為驅(qū)動機構(gòu)，齒槽小，分辨率高，輕松實現(xiàn)亞微米級定位需求。產(chǎn)品尺寸較多，可以根據(jù)需要靈活選擇，QF 系列產(chǎn)品適合用于半導(dǎo)體行業(yè)或其他對于精密位移亞微米級調(diào)整有需求的客戶。臺面多種標準孔位的安裝孔適合不同需要，下方標準固定孔方便將其與其他滑臺連接，組成多維移動臺。
特點：
· 采用氣浮靜壓導(dǎo)軌，運動無爬行，直線度好，負載可控制， 穩(wěn)定性好；
· 采用直線電機，微步能力好，驅(qū)動力可控，速度穩(wěn)定；
卓立-氣浮導(dǎo)軌滑臺QF系列命名規(guī)則：
QF 25-300 S-BNA
QF 系列代碼： QF:單軸空氣軸承類滑臺 QFD:XY組合空氣軸承類滑臺 QFH:龍門組合空氣軸承類滑臺 |
25 臺面寬度： 25:250mm 30:300mm |
300 有效行程： 100:100mm 200:200mm 300:300mm |
S 基座材質(zhì)： A:鋁合金 S:大理石 C:碳化硅 |
B 分辨率： 1:0.1 μm S:50nm B:20nm |
N 電機類型： N:無鐵芯 M:有鐵芯 |
A 臺面材質(zhì)： A:鋁合金 T:其它 |
以上命名規(guī)則除技術(shù)規(guī)格列表內(nèi)標準產(chǎn)品，其余配置請聯(lián)系銷售進行定制。
QF系列氣浮導(dǎo)軌滑臺選項表
型號 | QF25-100A-BNA | QF25-200A-BNA | QF25-300A-BNA | QF25-400A-BNA |
臺面尺寸(mm) | 245x200(運動方向) | |||
厚度(mm) | 120 | |||
移動量(mm) | 100 | 200 | 300 | 400 |
光柵尺分辨率(nm) | 20 | |||
驅(qū)動方式 | 無鐵芯直線電機 | |||
導(dǎo)軌 | 一體式靜壓導(dǎo)軌 | |||
雙向重復(fù)精度(μm) | 0.4 | |||
無*正定位精度(μm) | 1.2 | |||
直線度(μm) | 2 | 2.5 | 3 | 3 |
俯仰(arcsec) | 4.5 | |||
偏擺(arcsec) | 2.1 | |||
主體材料及表面處理 | 鋁合金，黑色硬質(zhì)陽極氧化處理 | |||
中心負載(Kg) | 10/μm | |||
型號 | QF25-400S-BNA | QF25-500S-BNA | QF25-600S-BNA | QF25-800S-BNA |
臺面尺寸(mm) | 290x200(運動方向) | |||
厚度(mm) | 189 | |||
移動量(mm) | 400 | 500 | 600 | 800 |
光柵尺分辨率(nm) | 20 | |||
驅(qū)動方式 | 無鐵芯直線電機 | |||
導(dǎo)軌 | 氣浮腳式靜壓導(dǎo)軌 | |||
雙向重復(fù)精度(um) | 0.3 | |||
無*正定位精度(μm) | 1.2 | |||
直線度(μm) | 2 | 3 | 5 | 5 |
俯仰(arcsec) | 2 | |||
偏擺(arcsec) | 2 | |||
主體材料及表面處理 | 大理石，鋁合金 | |||
中心負載(Kg) | 15/um | |||
說明 ：
1.以上測試數(shù)據(jù)在使用TMC-NET-2L 控制系統(tǒng)下，采用GB/T17421.2 雙軸線擬合下，采用等級為VC-C 環(huán)境下隔振系統(tǒng)所測試；
2.測試用氣體0.5MPa 壓縮空氣，做過濾和除水工藝；
3.測試環(huán)境介于萬級~十萬級潔凈空間內(nèi)；
4.測試溫度20±1℃,濕度40~60%。
特點和選型指導(dǎo)
項目 | xxxA | xxxS | xxxC |
材質(zhì) | 鋁合金 | 大理石 | 碳化硅陶瓷 |
導(dǎo)軌長度(mm) | 200~800 | 400~3000 | 400~2000 |
外形尺寸(mm) | 超小~中 | 中~超大 | 小、中、大 |
制作方式 | 機加工 | 磨削 | 燒制 |
重復(fù)精度(μm) | 0.3 | 0.3 | 0.25 |
直線度(μm) | 1~3 | 2~5 | 2~3 |
組合形式 | X, XY(小) | X、XY、龍門 | X、XY、龍門 |
造價(元) | 1~10 | 5~100 | 50~1000 |
尺寸圖：
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